CKD小型流量感測器資料FSM2-PVR050-S063BK
種類：流量傳感器
模擬電壓輸出：DC1-5V
配管連接方向：左右
模擬輸出規格:電壓
電源電壓的種類:DC
輸出點數：3
電源電壓V：12...24V

CKD小型流量感測器資料FSM2-PVR050-S063BK

吸收FSM系列的勢并實現了更大的進步。
繼承了異的應答性，量程zui大擴大到了1000L/min。
采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動參考功能，操作便利性大幅度提高。
此外，實現了雙向測量，注入了新。

①與壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調節、誤檢情形。
③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯誤。
利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此
時根據流量可以準確地進行判別。
激光激發器、半導體制造裝置的N2氣體管理
處置的流量量程大。
內嵌速控器型（特別訂購品）可以
輕松對流量進行控制。
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認
與壓力感測器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時）